更新时间:2024-09-20
parker超高纯束缚膜片减压阀SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,石油,能源,电子,纺织皮革 |
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parker超高纯束缚膜片减压阀产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上*的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制,提高了MFC(质量流量控制器)的性能,这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成,以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.
减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体,为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计,提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹,这样大限度减少粒子生成和截留,进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备,提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合,使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命,入口压力高达250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口,符合SEMI模块化接口规范.
SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座)密封和金属外部密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.
市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点和优势:
• 有C 和 W密封贴面安装1-1/8
parker超高纯束缚膜片减压阀性能特点
洁净316L不锈钢
洁净316L不锈钢
哈氏合金 C-22
哈氏合金 C-22
PCTFE
铜镀镍
不锈钢
ABS (蓝) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
750 psig (52 barg)
375 psig (26 barg)
Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
< 5 x 10-8 cc/sec He
< 2 x 10-10 cc/sec He
0.08 cm3
0.9 lb
0.42 kg
5微英寸粗糙度
250 psig / 17 barg
-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
66 °C
150 °F
-40 °C
-40 °F
更多产品详见:parker膜片减压阀